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Product

全自动脉冲加热共晶机 PH-550P

全自动脉冲加热共晶机 PH-550P

COC eutectic machine



1.PH-550 是 COB,COC 制程中将基底与芯片,在 CDD 定位后经过控制温度曲线熔化焊料从而键合在一起 的共晶设备。 

2.设备主要由共晶台,贴片机械手,晶圆台(含晶 片盒),下校准台,上下料机械手等组成。 

3.共晶台包含 X、Y、T 三轴系统组成,上面设置共 晶加热模块,氮气保护系统。 

4.贴片机械手包含 X、Y、Z、T 四轴机构,对芯片 的位置,角度校准。 

5.芯片校准台包含 X、Y、T 三轴机构,对芯片上表 面进行识别,保证贴片精度。 

6.共晶模块采用脉冲加热方式,温度可分段设定, 温度升降及焊接时间可精准控制。


产品详情



一、 基本功能

项目

内容

共晶产品

COC

---

基底上料方式

2寸料盒

晶片上料方式

热沉

6寸晶圆,兼容一个2寸Waffle PAK

芯片

6寸晶圆,兼容一个2寸Gel PAK

共晶台

1

脉冲共晶台

共晶方式

逐个共晶

共晶效率

单颗20左右(基底+热沉+LD芯片)


二、 控制部分

项目

内容

操作界面

图形用户界面,无线键鼠操作+独立启停按钮

全机初始化

界面按钮

气缸控制

界面按钮

传感器状态检查

界面按钮

运动轴位置检查

界面控制

速度调整

界面控制

生产信息

界面显示


三、 图像识别

项目

内容

CCD数量

6套

CCD用途

热沉晶圆定位

热沉底部定位

芯片晶圆定位

芯片正面校准定位

共晶台定位

CCD对焦方式

机械手动调节

CCD分辨率

128960

CCD镜头

变倍镜头:0.6 - 7

CCD相机

130万像素

光源

同轴光源

外置LED环形光

光源亮度调整

可独立调整识别/观察亮度

识别方式

边沿识别,特征教导,相似度设定

角度识别范围

0~360°

角度辨识错误率

≤1‰

模板特征编辑

可擦除遮蔽干扰特征


四、 机械手部分

项目

内容

吸嘴切换

手动更换 

吸头材质

金属吸嘴,电木吸嘴

机械手指定

LD拾取机械手

从晶圆拾取LD芯片,放置校准台

LD共晶机械手

从校准台拾取LD芯片,贴放共晶

热沉拾取贴片机械手

从热沉晶圆拾取热沉,贴放共晶

管座拾放机械手

从管座料盘取放管座

定位重复精度

X

±1 um

Y

± 1 um

Z

± 2 um

θ

± 0.01°

电机类型

X

直线电机

Y

直线电机

Z

步进电机

θ

步进电机

取置压力控制方式

吸头自重+弹簧

取置压力范围

拉力弹簧,压力范围10~200g(更换拉簧规格)


五、 脉冲共晶台部分

项目

内容

共晶方式

脉冲加热 

共晶面积范围

20x20 mm

共晶工作台

X

± 2 um

Y

± 2 um

Z

-----------

θ

范围±10°精度± 0.01°

电机类型

X

伺服电机

Y

伺服电机

Z

-----------

θ

步进电机

共晶台加热

电流脉冲 分段加热

共晶台冷却

风冷

加热速度

150°/sec

环境保护

氮气环境


六、 基底上下料部分

项目

内容

机械手

X

± 2 um

Y

± 2 um

Z

± 2 um

θ

-----------

电机类型

X

伺服电机

Y

伺服电机

Z

步进电机

θ

-----------

吸嘴

手动更换

上下料方式

逐个取放

料盒

两个,2


七、 电气需求

项目

内容

电力

电源类型

交流

电压

220V

相数

单相

功率峰时)

6000W

压缩空气

0.5 ~ 0.7MPa

真空

气压范围

60 ~90kPa

重量

1500kg

其它

氮气

吸嘴及共晶台

压缩空气过滤器

部件

真空过滤器

部件

环境温度要求

26℃

环境振动要求

VC-D

设备噪音

<50分贝

真空泵噪音

<60分贝


八、 附件一(随机资料)   

项目

内容

说明书——中文操作说明书

纸质版、电子版各一份/

图纸——电路图

电子版1

图纸——气路图

电子版1


九、 附件二 (参数)  

设备尺寸

X1640×Y1420×Z1840(mm)

重量

1500KG

功率峰时)

6KW

气压

0.5~0.7MP

电压

220W

生产效率

单颗20左右(基底+热沉+LD芯片)

位置精度

±2µm

角度精度

±0.01°

固晶压力

10~200g

晶圆尺寸

6"×2(tray   2"X2")

共晶台面尺寸

20x20 mm

芯片尺寸

0.2~2mm(其它尺寸需选配)